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本公司主要产品有2BV水环式真空泵,2BE水环式真空泵SK水环式真空泵等高质量真空泵设备

爪型干式真空泵

  • 产品名称: 爪型干式真空泵
  • 产品分类: 爪型干式真空泵
  • 公司名称: 淄博双飞真空泵制造有限公司
  • 添加时间: 14/09/27
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爪型干式真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
爪型干式真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


爪型干式真空泵产品热销城市:江苏,广东,浙江,北京,上海
点击次数:   更新时间:14/09/27 19:28:09   【打印此页】   【关闭

淄博双飞真空泵制造有限公司
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